주요 가스에 대한 물리화학적 특성은 아래와 같습니다. 반도체용 특수가스에 관해서는 당사 한국어판 종합카탈로그(P281, 282)를 참조하여 주십시오.
* 약어 설명 : 연 -가연성가스, 독 - 독성가스, 지 - 지연성가스(=조연성가스)
자료의 저작권은 제성진흥주식회사에게 있습니다. 제성진흥주식회사의 허가 없이 자료의 전부 또는 일부 내용을 복제, 수정, 전재 하는 것은 저작권법상 금지되어 있으며, 무단 복제 및 도용시 법적인 제재를 받을 수 있습니다. 또한, 본 자료는 참고용으로만 활용이 가능하며 이로 인하여 발생되는 법적인 문제는 당사에 책임을 물을 수 없습니다.
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